微机电系统工程专业排名前三的大学有西北工业大学排名第一(等级为A+)、北京航空航天大学排名第二(等级为A+)。
一、微机电系统工程专业排名前三大学名单
根据软科2024年专业排行榜可知，微机电系统工程专业排名第一的大学是西北工业大学，总分50.9、等级为A+。西北工业大学位于陕西省西安市，学校地址：西安市友谊西路127号。学校隶属工业和信息化部，综合实力很强，非常值得报考！
| 专业名 | 大学名 | 等级 | 排名 | 总分 |
|---|---|---|---|---|
| 微机电系统工程 | 西北工业大学 | A+ | 1 | 50.9 |
| 微机电系统工程 | 北京航空航天大学 | A+ | 2 | 50.5 |
二、微机电系统工程专业介绍
专业介绍：微机电系统工程微机电系统工程专业在光、机、电技术一体化方面的优势和研究成果为微机电系统技术方面的研究和发展打下了坚实的基础。本系在微纳米和微机电系统如微泵、微传感器、微加速度计等一系列微器件的设计、制造、工艺、测试以及基础理论等方面进行了深入的研究,其它的研究领域还有:微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术、小飞机、小卫星和微米卫星、纳米摩擦学以及光盘机读写头微型机构等。
开设课程：微机电工程材料，微机电器件与系统，微机械学，微纳米测量与测试技术，微细加工技术，现代传感技术，精密工程制造基础和光存储技术等。